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微波三極管與四極管的工作基于電子流的靜電控制原理（見真空電子器件）。按電極結構可分為平板電極和圓柱電極兩種。大功率微波三、四極管通常采用同軸結構。微波三、四極管的特點是對電源要求低，環境性能好，結構簡單，頻率和相位穩定性好，線性好，交調失真系數低,頻譜特性好,脈沖動率大。因此，微波三、四極管已在各種整機中得到廣泛的應用。由于受工作原理的局限，微波三、四極管在6000兆赫以上的頻率上效率較低，功率較小，應用范圍受到限制。在連續波低功率電平上的應用不及半導體器件。
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